ວິທີແກ້ໄຂລະບົບ HVAC ສຳລັບຫ້ອງທີ່ບໍ່ມີຝຸ່ນໃນອຸດສາຫະກຳເຊມີຄອນດັກເຕີ: ການປະຕິບັດຕາມຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດດ້ານການຄວບຄຸມສິ່ງແວດລ້ອມ

ຄວາມຕ້ອງການດ້ານການອອກແບບລະບົບ HVAC ພື້ນຖານສຳລັບຫ້ອງທີ່ບໍ່ມີຝຸ່ນໃນການຜະລິດເຊມີເຄີ (Semiconductor Clean Rooms)

ເປັນຫຍັງລະບົບ HVAC ທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປຈຶ່ງລົ້ມເຫຼວໃນສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດທີ່ມີຂະໜາດນ້ອຍກວ່າ 10nm

ລະບົບ HVAC ທີ່ໃຊ້ໃນທາງການຄ້າທົ່ວໄປບໍ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງ, ຄວາມສາມາດໃນການຈັດເກັບ (containment), ແລະ ຄວາມສະຖຽນຂອງອາກາດທີ່ຈຳເປັນສຳລັບການຜະລິດທີ່ມີຂະໜາດຕ່ຳກວ່າ 10 ນາໂມເມີຣ໌. ຂະໜາດຂອງອະນຸພາກທີ່ຢູ່ໃນຂະໜາດດັ່ງກ່າວນີ້ນ້ອຍກວ່າ 10 ນາໂມເມີຣ໌ຫຼາຍທີ່ສຸດ—ເປັນລ້ານເທົ່ານ້ອຍກວ່າຂະໜາດ 0.3 ໄມໂຄຣເມີຣ໌ (µm) ທີ່ໃຊ້ເປັນເກນການປະເມີນຕົວກັ້ນ HEPA ທົ່ວໄປ—ເຮັດໃຫ້ການກັ້ນແບບດັ້ງເດີມບໍ່ມີປະສິດທິຜົນ. ລະບົບເຫຼົ່ານີ້ຍັງບໍ່ສາມາດຮັກສາຄວາມສະຖຽນຂອງອຸນຫະພູມ ແລະ ຄວາມຊື້ນ (hygroscopic stability) ທີ່ຈຳເປັນສຳລັບຂະບວນການຖ່າຍຮູບດ້ວຍແສງ (photolithography) ແລະ ການກັດເຄື່ອງ (etching): ການປ່ຽນແປງອຸນຫະພູມເຖິງແຕ່ ±0.5°C ຫຼື ຄວາມຊື້ນ ±2% RH ກໍສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດການເບິ່ງເບາ (wafer distortion), ການເລື່ອນຂອງແມ່ແບບ (mask drift), ຫຼື ການບວມຂອງວັດສະດຸຕ້ານແສງ (resist swelling) ເຊິ່ງສົ່ງຜົນໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການເຮັດໃຫ້ເຂົ້າກັນ (overlay accuracy) ແລະ ການຄວບຄຸມຂະໜາດເສັ້ນ (line-width control). ນອກຈາກນີ້, ລູບການລົມທີ່ບໍ່ເປັນລະບົບ (turbulent) ແລະ ບໍ່ເທົ່າທຽມກັນ (non-uniform) ຂອງລະບົບເຫຼົ່ານີ້ຈະເຮັດໃຫ້ສິ່ງປົນເປືືອນຖືກນຳມາໃຊ້ຊ້ຳ (recirculate) ແທນທີ່ຈະຖືກດຶງອອກໄປຢ່າງເປັນທິດທາງດຽວ (unidirectionally) ຈາກເຄື່ອງມືທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການ. ຜົນທີ່ໄດ້ຮັບແມ່ນຄວາມໜາແໜັ່ນຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງ (defect densities) ສູງຂຶ້ນ, ການເຮັດໃໝ່ (rework) ເພີ່ມຂຶ້ນ, ແລະ ການໃຊ້ພະລັງງານທີ່ບໍ່ມີປະສິດທິຜົນ ເນື່ອງຈາກຜູ້ປະຕິບັດງານຕ້ອງກຳນົດຄວາມຈຳເປັນດ້ານການເຢັນ ຫຼື ການກັ້ນທີ່ເກີນຄວາມຈຳເປັນເພື່ອຊົດເຊີຍ.

ຄວາມສອດຄ່ອງຕາມມາດຕະຖານ ISO 14644-1 ຊັ້ນ 1–5: ການຂັບເຄື່ອນອັດຕາການປ່ຽນອາກາດ (Air Change Rates) ແລະ ຮູບແບບຂອງການຄວບຄຸມຄວາມດັນ (Pressure Cascade Logic)

ການບັນລຸຄວາມສອດຄ່ອງຕາມມາດຕະຖານ ISO 14644-1 ລະດັບ 1–5 ຕ້ອງອີງໃສ່ວິທີການທີ່ເປັນເອກະລາດ ແລະ ມີພື້ນຖານຢູ່ກັບຄວາມເຂັ້ມງວດໃນການຄຳນວນອັດຕາການປ່ຽນອາກາດ (ACH) ແລະ ການຈັດຕັ້ງປະຕິບັດລະບົບຄວາມດັນທີ່ເປັນລຳດັບຢ່າງເຂັ້ມງວດ. ສຳລັບຫ້ອງທີ່ມີຄວາມສະອາດລະດັບ 1 ຈະຕ້ອງມີອັດຕາການປ່ຽນອາກາດ 300–600 ຄັ້ງຕໍ່ຊົ່ວໂມງ—ເຊິ່ງເກີນກວ່າມາດຕະຖານທົ່ວໄປສຳລັບຫ້ອງທົດລອງ ຫຼື ອຸດສາຫະກຳຢາຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ—ເພື່ອຮັບປະກັນການເຈືອຈາງ ແລະ ການຂັບໄລ່ອະນຸພາກທີ່ຖືກປ່ອຍອອກໄປໄດ້ຢ່າງທັນທີ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ ອາກາດທີ່ຖືກສົ່ງຜ່ານດ້ວຍປະລິມານສູງນີ້ ຈຳເປັນຕ້ອງມີຄວາມເປັນລຳດັບທີ່ແທ້ຈິງ (laminar flow) ໂດຍບໍ່ມີການເກີດການເຄື່ອນທີ່ທີ່ບໍ່ເປັນລຳດັບ (turbulence) ເລີຍ. ອີກດ້ານໜຶ່ງ ລະບົບຄວາມດັນທີ່ເປັນລຳດັບ (static pressure cascade) ກໍມີຄວາມສຳຄັນເທົ່າທຽບກັນ: ເຂດທີ່ສະອາດທີ່ສຸດ (ເຊັ່ນ: ບ່ອນຕິດຕັ້ງເຄື່ອງສະແກນ EUV) ຈະຖືກຮັກສາໃຫ້ມີຄວາມດັນບວກສູງທີ່ສຸດ ແລ້ວຈຶ່ງລົງລະດັບທີລະດັບຜ່ານຫ້ອງແຕ່ງຕົວ ຊ່ອງທາງເຄື່ອງຈັກ ແລະ ເຂດສະໜັບສະໜູນ. ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມດັນນີ້—ເຊິ່ງມັກຈະຢູ່ທີ່ 10–25 Pa ລະຫວ່າງເຂດທີ່ຢູ່ຕິດກັນ—ຈະຊ່ວຍປ້ອງກັນການເຂົ້າມາຂອງອາກາດທີ່ບໍ່ໄດ້ຜ່ານການກົງກັນເປືອນເມື່ອປະຕູຖືກເປີດ ຫຼື ເມື່ອການປິດຜິວເລີ່ມເສື່ອມຄຸນນະພາບ. ຖ້າເກີດການລ້ວນເຂົ້າ (breach) ຈະມີການເຕືອນທັນທີ ແລະ ມີການປັບຄ່າອັດຕາການເປີດ/ປິດກະແດງ (damper) ຫຼື ຄວາມໄວຂອງປັ້ມລົມອັດຕະໂນມັດ. ການອອກແບບຈະຕ້ອງປະກອບເຂົ້າກັບປະສິດທິພາບຂອງຕົວກົງກັນເປືອນ (HEPA/ULPA) ອັດຕາການໄຫຼຂອງອາກາດ ແລະ ການຄວບຄຸມຄວາມດັນ ໂດຍບໍ່ເສຍເສຍປະສິດທິພາບດ້ານພະລັງງານ—ເຊິ່ງຈະຖືກຢືນຢັນຜ່ານການຈຳລອງດ້ວຍຄອມພິວເຕີ (computational fluid dynamics - CFD) ແລະ ການທົດສອບຈິງດ້ວຍການໃຊ້ຂີ່ຟູມ (smoke visualization) ຕາມມາດຕະຖານ IEST-RP-CC006.2.

ການຄວບຄຸມມືອນເປື່ອນເປື້ອນ: ການຈັດການການລົມໄຫຼ, ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມກົດດັນ, ແລະ ການກັ້ນຜ່ານຕົວກັ້ນ HEPA/ULPA

ຄວາມໄວຂອງການໄຫຼລົມແບບລະເບີດ, ຈຳນວນຄັ້ງທີ່ອາກາດຖືກປ່ຽນຕໍ່ຊົ່ວໂມງ, ແລະ ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມກົດດັນລະຫວ່າງເຂດສຳລັບຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງ ISO Class 3

ບ່ອນທີ່ມີຄວາມສະຖຽນຕາມມາດຕະຖານ ISO ຊັ້ນ 3 ຂຶ້ນກັບສາມປັດໄຈທີ່ເຊື່ອມຕໍ່ກັນຢ່າງແນ່ນອນ: ຄວາມໄວຂອງການລົ້ນທີ່ເປັນລຳດັບ, ອັດຕາການປ່ຽນອາກາດ, ແລະ ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມກົດດັນລະຫວ່າງເຂດ. ລະບົບ HVAC ສົ່ງອາກາດໄຫຼຜ່ານພື້ນທີ່ເຮັດວຽກທີ່ສຳຄັນດ້ວຍຄວາມໄວ 0.45 m/s ໃນທິດທາງດຽວ—ເພີ່ອໃຫ້ພາກສ່ວນທີ່ມີຂະໜາດນ້ອຍກວ່າ 100 nm ຖືກດຶງໄປທາງຮ່ອງລະບາຍອາກາດທີ່ຢູ່ເທິງພື້ນກ່ອນທີ່ຈະຕົກຄົງ. ຮ່ວມກັບອັດຕາການປ່ຽນອາກາດ ≥360 ACH, ສິ່ງນີ້ຮັບປະກັນວ່າສານປົນເປືືອນທີ່ຢູ່ໃນອາກາດຈະຖືກເຈືອຈາງ ແລະ ຖືກດຶງອອກໄປພາຍໃນບໍ່ເຖິງວິນາທີ. ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມກົດດັນລະຫວ່າງເຂດທີ່ມີຄວາມສະຖຽນຕາມມາດຕະຖານ ISO ຊັ້ນ 3 ແລະ ເຂດທີ່ຢູ່ຕິດກັນທີ່ມີຄວາມສະຖຽນຕາມມາດຕະຖານ ISO ຊັ້ນ 5 ຫຼື ຊັ້ນ 7 (≥15 Pa) ປ້ອງກັນການປົນເປືືອນຂ້າມເຂດໃນເວລາທີ່ມີການເຄື່ອນຍ້າຍບຸກຄະລາກອນ ຫຼື ວັດຖຸ. ການກັ້ນຕອງຖືກປັບໃຫ້ເໝາະສົມຕາມລະດັບຄວາມສ່ຽງ: ເຄື່ອງກັ້ນຕອງ HEPA (99.97% @ 0.3 µm) ໃຊ້ສຳລັບການສົ່ງອາກາດທີ່ບໍ່ມີຟຸ້ນຝອຍທົ່ວໄປໃນຫ້ອງທີ່ບໍ່ມີຟຸ້ນຝອຍ, ໃນຂະນະທີ່ເຄື່ອງກັ້ນຕອງ ULPA (99.999% @ 0.12 µm) ໃຊ້ປ້ອງກັນເຄື່ອງສະແກນ EUV, ເຄື່ອງວັດແທກ, ແລະ ບ່ອນເກັບຮັກສາ reticle. ການຈັດລະດັບຄວາມກົດດັນແບບລຳດັບ (Pressure cascading) ຖືກກວດສອບຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງດ້ວຍເຄື່ອງວັດແທກຄວາມກົດດັນດິຈິຕອນທີ່ມີຄວາມເປັນເອກະລາດ (redundant digital manometers) ແລະ ຖືກບັນຈຸເຂົ້າໃນລະບົບຈັດການອາຄານ (BMS) ເພື່ອການຕິດຕາມແບບ real-time ແລະ ການເຕືອນເມື່ອມີບັນຫາ.

ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມິ ແລະ ຄວາມຊື້ນຢ່າງແນ່ນອນສຳລັບຂະບວນການທີ່ສຳຄັນເຊັ່ນ: ການຖ່າຍຮູບ (Lithography) ແລະ ການກັດ (Etch)

ຄວາມຕ້ອງການດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງ EUV Lithography: ±0.1°C ແລະ 40–45% RH (±0.3%)

EUV lithography ມີຄວາມຕ້ອງການດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມທີ່ເຂັ້ມງວດທີ່ສຸດໃນການຜະລິດເຊມີເຄີ (semiconductor manufacturing). ຄວາມບໍ່ສະຖຽນທາງດ້ານອຸນຫະພູມິທີ່ເກີນ ±0.1°C ຈະເຮັດໃຫ້ເກີດການຂະຫຍາຍ ຫຼື ຫຼຸດລົງໃນຂະໜາດນາໂນແມັດເຕີຂອງອຸປະກອນທາງດ້ານເລືອງ (optical components) ແລະ ແຜ່ນຊິລິໂຄນ (silicon wafers) — ສົ່ງຜົນໃຫ້ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດຕັ້ງຕຳແໜ່ງ (overlay registration) ເສື່ອມລົງຫຼາຍກວ່າ 1 nm ຕໍ່ການປ່ຽນແປງ 0.1°C. ໃນເວລາດຽວກັນ, ການປ່ຽນແປງຄວາມຊື້ນທີ່ຢູ່ນອກເຂດ 40–45% RH (±0.3%) ຈະເຮັດໃຫ້ເກີດການເคลື່ອນທີ່ຂອງຈຸດເຟີກັດ (focus drift) ເນື່ອງຈາກການປ່ຽນແປງດັດຊະນີການຫັກເຫຼືອມ (refractive index) ຂອງອາກາດທີ່ເຫຼືອຢູ່ ແລະ ຜົນກະທົບຈາກການຮ້ອນຂອງເລືອງ. ຄວາມໄວ້ອ່ອນເຫຼົ່ານີ້ໝາຍຄວາມວ່າ ລະບົບ HVAC ຈະຕ້ອງສາມາດສະເໜີບໍ່ພຽງແຕ່ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຈຸດທີ່ຕັ້ງ (setpoint accuracy) ເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງ ຄວາມສະຖຽນທາງໃນໄລຍະສັ້ນ ການຮັກສາ ±0.02°C ໃນຕູ້ເຄື່ອງມືທີ່ຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຢ່າງເຂັ້ມງວດ ເວລາທີ່ມີການປ່ຽນແປງໄວຂອງພະລັງງານຄວາມຮ້ອນຈາກແຫຼ່ງ EUV ຫຼື ເຄື່ອງຕັດດ້ວຍພາສມ່າ. ການບໍ່ສາມາດບັນລຸເຖິງຂອບເຂດທີ່ກຳນົດຈະສົ່ງຜົນໃຫ້ເກີດການສູນເສຍໃນອັດຕາການຜະລິດ—ການສຶກສາໂດຍ IMEC ແລະ TSMC ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າ ຄວາມເບິ່ງທີ່ເກີນຂອບເຂດ 0.05°C ແຕ່ລະໜ່ວຍຈະເຮັດໃຫ້ຄວາມປ່ຽນແປງຂອງມິຕິທີ່ສຳຄັນເພີ່ມຂຶ້ນປະມານ 0.8%.

ຍຸດທະສາດລະບົບ HVAC ຂັ້ນສູງ: ການລົບລ້າງຄວາມຊື້ນສອງຂັ້ນ, ເຄື່ອງເຢັນແບບທໍ່ເຢັນ, ແລະ ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນຄືນທີ່ຄວບຄຸມດ້ວຍ PID

ລະບົບ HVAC ສຳລັບຫ້ອງທີ່ບໍ່ມີຝຸ່ນທີ່ທັນສະໄໝປະກອບດ້ວຍຍຸດທະສາດສາມຢ່າງເພື່ອບັນລຸການຄວບຄຸມໃນລະດັບ EUV:

• ການລົບລ້າງຄວາມຊື້ນສອງຂັ້ນ ປະກອບດ້ວຍລ້ອດດູດຄວາມຊື້ນ (ເພື່ອການລົບລ້າງຄວາມຊື້ນຢ່າງເລິກ) ຮ່ວມກັບເຄື່ອງເຢັນທີ່ໃຊ້ນ້ຳເຢັນອຸນຫະພູມຕ່ຳ (ເພື່ອການປັບຄວາມຊື້ນສຳເລັດຢ່າງແນ່ນອນ), ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ສາມາດຮັກສາຄວາມສະຖຽນຂອງຄວາມຊື້ນໃນລະດັບ ±0.3% RH ໄດ້ ເຖິງແມ່ນຈະມີການປ່ຽນແປງຄວາມຊື້ນຂອງອາກາດແວດລ້ອມ ຫຼື ການປ່ຽນແປງໄວຂອງພະລັງງານຈາກຂະບວນການ
• ລະບົບເຄື່ອງເຢັນແບບທໍ່ເຢັນ ແຍກການເຢັນສ່ວນທີ່ຮັບຮູ້ຄວາມຮ້ອນອອກຈາກການຈັດສົ່ງອາກາດ—ເພື່ອໃຫ້ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມໃນເຂດທີ່ສຳຄັນຢ່າງແນ່ນອນ (±0.1°C) ໂດຍບໍ່ຮີ້ນຮານຄວາມໄວ ແລະ ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງການລົມທີ່ເຄື່ອນທີ່ແບບລຳດັບ
• ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນຄືນທີ່ຄວບຄຸມດ້ວຍ PID , ທີ່ໄດ້ຮັບຂໍ້ມູນການປັບຄວາມຮ້ອນຈາກເຄື່ອງມືວັດແທກລະດັບ wafer ໃນເວລາຈິງ, ປັບຄວາມຮ້ອນຊົ່ວຄາວ (ເຊັ່ນ: ຈາກແຫຼ່ງພະລັງງານ plasma EUV) ໂດຍອັດຕະໂນມັດ, ເພື່ອບັນລຸຄວາມສາມາດໃນການຕອບສະຫນອງຄວາມຮ້ອນຊົ່ວຄາວທີ່ ±0.05°C

ຮ່ວມກັນ, ຢຸດທະສາດເຫຼົ່ານີ້ບັນລຸທັງມາດຕະຖານ ASHRAE Standard 110 (ການຄວບຄຸມຄວາມຊື້ນໃນລະດັບ Class 4) ແລະ IEST-RP-CC024.2 (ຄວາມສະຖຽນຂອງອຸນຫະພູມສຳລັບການຜະລິດເທັກໂນໂລຊີຂະໜາດນາໂນ), ໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນຂອງພະລັງງານໃນສິ່ງອຳນວຍຄວາມສະດວກໄດ້ຈົນເຖິງ 35% ເມື່ອທຽບກັບລະບົບເກົ່າທີ່ໃຊ້ປະລິມານອາກາດຄົງທີ່ ແລະ ເຄື່ອງເຢັນດຽວ

ຄວາມເຊື່ອຖືໄດ້ ແລະ ການມີສ່ວນເກີນໃນລະບົບ HVAC ທີ່ມີຄວາມສຳຄັນຕໍ່ພາລະກິດ

ໃນຫ້ອງທີ່ບໍ່ມີຝຸ່ນຂອງອຸດສາຫະກຳເຊມີຄອນດັກເຕີ, ການລົ້ມເຫຼວຂອງລະບົບ HVAC—ເຖິງແມ່ນຈະເປັນເວລາບໍ່ເຖິງ 90 ວິນາທີ—ກໍສາມາດທຳລາຍເວັບເຟີ (wafers) ທັງໝົດໃນກຸ່ມໜຶ່ງ ຫຼື ເຮັດໃຫ້ຕ້ອງມີການຢືນຢັນຄືນໃໝ່ຂອງຫ້ອງທີ່ມີຄວາມສຳຄັນ (chamber) ເຊິ່ງເສີຍຄ່າໃນການດຳເນີນງານ. ສະນັ້ນ, ການອອກແບບໃຫ້ມີສ່ວນເກີນ (redundancy) ຈຶ່ງຖືກປະກອບຂຶ້ນຢູ່ທຸກໆຈຸດທີ່ສຳຄັນ: ເຄື່ອງເຢັນ N+1 ເຄື່ອງພັດลม ແລະ ເຄື່ອງສູບ; ເຄື່ອງຈັດການອາກາດ (AHUs) ທີ່ເປັນອິດສະຫຼະຕໍ່ກັນ 2 ເຄື່ອງ ທີ່ໃຫ້ບໍລິການເຂດທີ່ເຮັດວຽກເທົ້າກັນ; ແລະ ແຫຼ່ງຈ່າຍພະລັງງານສຳ dự ທີ່ແຍກຕ່າງຫາກຢ່າງສົມບູນສຳລັບຕົວຄວບຄຸມລະບົບ BMS ແລະ ປີກກັ້ນທີ່ສຳຄັນ. ຕ່າງຈາກການອອກແບບສ່ວນເກີນທົ່ວໄປໃນອຸດສາຫະກຳ, ການອອກແບບສຳລັບຫ້ອງທີ່ບໍ່ມີຝຸ່ນຈະຕ້ອງການ ການປ່ຽນຜ່ານໄປໃຊ້ລະບົບສຳຮອງຢ່າງທີ່ບໍ່ຖືກຂັດຂວາງ ການຖ່າຍໂອນອັດຕະໂນມັດຕ້ອງເກີດຂຶ້ນພາຍໃນ 100 ມີລິວິນາທີ, ໂດຍບໍ່ມີການປ່ຽນແປງທີ່ສາມາດຮັບຮູ້ໄດ້ໃນອຸນຫະພູມ (±0.05°C), ຄວາມຊື້ນ (±0.2% RH), ຫຼື ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມດັນ (±2 Pa). ການຕິດຕາມສຸຂະພາບຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ—ເຊິ່ງລວມເຖິງການສັ່ນສະເທືອນຂອງບ່ອນເຄື່ອນເຄື່ອນ, ຮູບແບບຄ່າປະຈຸບັນຂອງມໍເຕີ, ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງອຸນຫະພູມໃນຂດລວມ (coil delta-T), ແລະ ການຫຼຸດລົງຂອງຄວາມດັນຜ່ານຕົວກັ້ນ—ເຮັດໃຫ້ສາມາດດຳເນີນການບໍາຮັກສ່າງແຕ່ເລີ່ມຕົ້ນໄດ້. ວຽກງານດ້ານຄວາມເຊື່ອຖືທີ່ມີຫຼາຍຊັ້ນນີ້ ແລະ ສອດຄ່ອງກັບມາດຕະຖານ SEMI S2 ແລະ ISO 13374 ຈະຮັບປະກັນເວລາໃຊ້ງານທີ່ເກີນ 99.999%, ເພື່ອປ້ອງກັນເຄື່ອງມືຂະບວນການທີ່ມີມູນຄ່າຫຼາຍລ້ານດ້ອລາ ແລະ ປ້ອງກັນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຜົນຜະລິດໃນການດຳເນີນງານ 24/7.

FAQs

ເປັນຫຍັງລະບົບ HVAC ທົ່ວໄປຈຶ່ງບໍ່ສາມາດຈັດການສິ່ງແວດລ້ອມທີ່ຜະລິດດ້ວຍຂະໜາດຕໍ່າກວ່າ 10nm ໄດ້?

ລະບົບ HVAC ໃນເຊີງການຄ້າບໍ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງໃນການກັ້ນ, ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ, ແລະ ການຈັດການການລົມທີ່ຈຳເປັນສຳລັບສິ່ງແວດລ້ອມທີ່ອ່ອນໄຫວດັ່ງກ່າວ, ຈຶ່ງເຮັດໃຫ້ເກີດມືອນເປື່ອນ ແລະ ຄວາມບໍ່ສະຖຽນ.

ຄວາມໝາຍຂອງການລົມທີ່ເປັນລຳດັບ (laminar airflow) ສຳລັບຫ້ອງທີ່ບໍ່ມີຝຸ່ນແມ່ນຫຍັງ?

ການລົ້ມຕົວຂອງອາກາດແບບລະເບີດ (Laminar airflow) ຍົກເລີກການເຄື່ອນທີ່ທີ່ບໍ່ເປັນລະບົບ (turbulence), ເພື່ອໃຫ້ສິ່ງປົນເປືືອນຖືກຂັບໄລ່ອອກໄປແທນທີ່ຈະຖືກຮີໄຊເຄີວ (recirculated), ເຊິ່ງເປັນສິ່ງທີ່ສຳຄັນຫຼາຍຕໍ່ການຮັກສາຄວາມຖືກຕ້ອງໃນລະດັບຍ່ອຍ-ນາໂນແມັດເຕີ (sub-nanometer precision).

ອຸນຫະພູມແລະຄວາມຊື້ນຖືກຄວບຄຸມແນວໃດໃນຂະບວນການທີ່ສຳຄັນ?

ລະບົບຂັ້ນສູງໃຊ້ການຫຼຸດຄວາມຊື້ນສອງຂັ້ນ (dual-stage dehumidification), ການຖ່າຍເທີມຄວາມຮ້ອນຜ່ານທໍ່ເຢັນ (chilled beam convection), ແລະການຄວບຄຸມຄວາມຮ້ອນຄືນ (reheat) ໂດຍໃຊ້ລະບົບ PID ເພື່ອຮັກສາຄວາມຖືກຕ້ອງທີ່ເຂັ້ມງວດຫຼາຍ (extremely tight tolerances) ໃນລະດັບ ±0.1°C ແລະ ±0.3% RH.

ຄວາມຊ້ຳຊ້ອນ (redundancy) ເຮັດຫນ້າທີ່ຫຍັງໃນການອອກແບບລະບົບ HVAC ສຳລັບຫ້ອງທີ່ບໍ່ມີຟຸ່ງຈຸ່ນ (cleanroom)?

ຄວາມຊ້ຳຊ້ອນຮັບປະກັນການດຳເນີນງານຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນເວລາເກີດຄວາມລົ້ມເຫຼວ, ໂດຍອຸປະກອນຕ່າງໆ ເຊັ່ນ: ເຄື່ອງເຢັນແບບ N+1 ແລະ AHU ສຳ dự (backup AHUs) ທີ່ຮັກສາສະພາບການທີ່ສຳຄັນ.