Litharollo tsa HVAC bakeng sa Likamore tse Hloekileng tsa Semiconductor: Ho Kopana le Litlhoko tse Tiileng tsa Taolo ea Tikoloho

Litšhupiso tsa Tšebeliso ea HVAC tsa Mokhoa oa Ho Hlakisa Lisekolo tsa Semiconductor

Ke eng eo tšebeliso ea HVAC e tloaelehileng e qetang ho lisekolo tsa ho hlahisa mefuta ya 10nm le ka tlase

Lisistimi tsa HVAC tsa masepala tsa sebaka ha li na le boikarabelo, ho qaqisa, le boemo bo lekanyetsoeng bo hlokahalang bakeng sa ho etsa litholo tse ka tlase ho 10nm. Boholo ba litholo ka tsona tse kae bo tlase ho 10 nm—bo lekane le bokhutlo bo lekanyetsoeng ho feta 0.3 µm o sebelisetsoang ho lekanya lisistimi tsa HEPA tsa sebaka—eo e bong lekanyetsoeng ho sebelisa litšebetso tsa ho qaqisa tsa sebaka. Lisistimi tseo li sa tla lekanya boemo ba motlakase le boemo ba mafutha a bolelang ho litholo tsa photolithography le etching: e le ho fetoha ha ho lekana le ±0.5°C kapa ±2% RH e ka bong ho etsa ho fetoha ha litholo, ho fetoha ha litholo tsa mask, kapa ho pholoha ha litholo tsa resist, eo e bong ho fokotsa boikarabelo ba ho kopanya le ho lekanya boholo ba mafutha a litholo. Ka tsela e 'ngoe, mafutha a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekanyetsoeng a a sa lekany......

Tšebetso ea ISO 14644-1 Class 1–5: Ho qaqisa Litsela tsa ho fetoha ha mafutha le ho qaqisa ho qaqisa ha boemo ba mafutha

Ho fihlela ho lekana le ISO 14644-1 Class 1–5 e hlokahala mokhoa o felletseng o kholoetsoeng ke tshepiso ya lebaka la phephelo (ACH) le ho qetela ka mafoko a phethahetseng a lebaka la tlhokomelo. Class 1 cleanrooms li hloka 300–600 ACH—e tšoara ka ho fetisisa mefuta eohle ea laboratori le ea lithotong tsa phuthung—ho netefatsa ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho tšoanang ha ho t......

Tšebetso ea Tšehetso ea Lihlahla: Tšebetso ea Mofuta oa Mofuta, Differenshale ea Mokhoa, le Filtration ea HEPA/ULPA

Lefelo la Mofuta oa Lihlahla, Liphoso tsa Mofuta ka hora, le Differenshale ea Mokhoa pakeng tsa Zone bakeng sa ISO Class 3 Stability

ISO Class 3 e itšetlehile ka litekanyo tse tharo tse kopantsoeng hantle: lebelo la phallo ea laminar, lebelo la phetoho ea moea le phapang ea khatello ea libaka. Sistimi ea HVAC e fana ka moea o tsamaeang ka tsela e le 'ngoe ka lebelo la 0,45 m/s libakeng tse sebetsang tse mahlonoko e lekaneng ho fiela likaroloana tse ka tlase ho 100 nm ho ea ho li-grille tsa fatše pele ho beoa. Ha e kopantsoe le ≥360 ACH, sena se tiisa hore lintho tse silafatsang tse moeeng lia hlapolloa le ho felisoa ka metsotsoana. Phapang ea khatello ea libaka tse fapaneng tsa ≥15 Pa pakeng tsa libaka tsa Sehlopha sa 3 le libaka tse haufi tsa Sehlopha sa 5 kapa 7 li thibela tšilafalo e fapaneng nakong ea phetisetso ea basebetsi kapa thepa. Ho sefa ho lumellana le boemo ba kotsi: li-filters tsa HEPA (99.97% @ 0.3 μm) li sebeletsa phepelo e akaretsang ea kamore e hloekileng, ha li-filters tsa ULPA (99.999% @ 0.12 μm) li sireletsa li-scanner tsa EUV, lisebelisoa tsa metrology le polokelo ea ret Khatello ea khatello e hlahlojoa ka mokhoa o tsoelang pele ka li-manometer tsa digital tse sa hlokahaleng'me e kenngoa tsamaisong ea tsamaiso ea mohaho (BMS) bakeng sa ho hlahisa mekhoa ea nako ea sebele le ho eketsa alamo.

Tlhomamiso ya Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Moeli le Mokhoa wa Ho Tlhomamisa Mo......

Tlhomamiso e e tšoanang ea EUV lithography: ±0.1°C le 40–45% RH (±0.3%)

Lithography ea EUV e fana ka tlhomamiso e e tšoanang haholo ho tsebo ea ho etsa litlhaku tsa semiconductor. Ho se na moeli o sa lekanyetsoeng ka ho fetisisa ±0.1°C o baya litlhaku tsa optiki le litlhaku tsa silicon wafer ho feta le ho qetella ka mofuta oa nanometer—ho senya ho tšoana ha litlhaku ka ho fetisisa >1 nm ka ho fetisisa ha 0.1°C. Ka tsela e tšoanang, ho fetisisa ha moeli ho 40–45% RH (±0.3%) e baya ho fetisisa ha focus ka ho fetisisa ha refractive index ho litlhaku tsa gas tse setseng le ho fetisisa ha lens. Tsebi tsena li bolela hore litlhaku tsa HVAC li tlameha ho fana ka ho lekanyetsoa ha setpoint feela, empa stabiliti ya ho fetisisa ho boloka ±0.02°C ho tšebeliso ea lisekoere tsa ho lekola moeli, ha ho fana ka tlhahisoleseding ea mohato o sa feleng oa ho lekola moeli ho tsoa ho mefuta ea EUV kapa ho tšebeliso ea plasma etchers. Ha sebele ho fihla ho tsebi tseo, ho bapala ho tšoana—mabatho a IMEC le TSMC a bontša hore ho na le phetoho ea 0.05°C e lekana le ho eketsa ho 0.8% ho phetoho ea boholo ba litlhahiso tse tšoanang le tse tšoanang.

Mefuta ea ho lekola moeli e tšoanang le ho lekola moeli: ho lekola moeli ka mafuta a mabili, ho lekola moeli ka mafuta a mabili, le ho lekola moeli ka mafuta a mabili a ho lekola moeli ka mafuta a mabili

Lisekoere tsa ho lekola moeli tsa ho lekola moeli li kenya tse latelang tse tharo tse tšoanang le ho lekola moeli:

• Ho lekola moeli ka mafuta a mabili e kopanya mafuta a mabili (ho tšoana le ho lekola moeli) le mafuta a mabili a mafuta a mabili (ho tšoana le ho lekola moeli), e thusang ho fana ka ho lekola moeli ±0.3% RH ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšo......
• Mafuta a mabili a ho lekola moeli ka mafuta a mabili a a tšoana le ho lekola moeli ka mafuta a mabili—ho fana ka ho lekola moeli (±0.1°C) ha ho na phetoho ea ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho tšoana le ho lekola moeli ho......
• Mafuta a mabili a ho lekola moeli ka mafuta a mabili , e-fetisitsweng ke tšepahalo ya moeli wa nako e tsenehang ho litšebeliso tsa ho bala moeli wa wafer, e fetisitsa ho lekola moeli o sa tšoaneng (mohlala, ho tšwa ho litšhupetso tsa EUV plasma), e fihlela ho lekola moeli o sa tšoaneng wa ±0.05°C

Ka tsela e le 'ngoe, mefuta ena e tšepahadisa ASHRAE Standard 110 (mofuta wa 4 wa ho laola mafutha) le IEST-RP-CC024.2 (ho leka ho pholoha ha mafutha bakeng sa ho etsa lithotong tsa nanotechnology), ha e lula e fokotsa mafoko a sebetsa a thibelo ka ho fetisisa ho 35% ho khotsofatsa ho sebetsa ha litšebiso tse sa tšoaneng tsa litšebiso tse le 'ngoe tsa litšebiso tsa litšebiso tse sa tšoaneng.

Ho tšepahadisa le ho tšepahadisa ho litšebiso tsa HVAC tse nang le mosebetsi o motle

Litšebiso tsa semiconductor tse sa tšoaneng, ho tšepahadisa ha HVAC—even for under 90 seconds—e ka baka ho tšepahadisa litšebiso tsohle tsa wafers kapa ho qetella ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka ho leka...... ho tšepahadisa ho tšoanang ha ho tšepahadisa : phetiso ea motlakase e tlameha ho etsahala ka 100 ms, ntle le ho kheloha ho bonahalang ha mocheso (± 0,05 °C), mongobo (± 0,2% RH), kapa phapang ea khatello (± 2 Pa). Ho shebella boemo ba bophelo ka ho tsoelang peleho latela ho thothomela ha li-bearing, li-harmonics tsa motlakase, coil delta-T, le khatello ea filthara e theohaho nolofalletsa tlhokomelo e boletsoeng esale pele. Moralo ona oa ho tšepahala o nang le likarolo tse ngata, o lumellanang le litekanyetso tsa SEMI S2 le ISO 13374, o netefatsa nako ea ho sebetsa e fetang 99.999%, ho sireletsa lisebelisoa tsa ts'ebetso tse limilione tse ngata le ho sireletsa botšepehi ba tlhahiso ts'ebetsong ea 24/7.

Mahala a Mantsoe

Ke hobane'ng ha mekhoa e tloaelehileng ea HVAC e sa khone ho sebetsana le tikoloho ea tlhahiso e ka tlaase ho 10nm?

Litsamaiso tsa khoebo tsa HVAC ha li na mokhoa o nepahetseng oa ho sefa, taolo ea mocheso le taolo ea moea o kenang libakeng tse joalo tse thata, e leng se bakang tšilafalo le ho hloka botsitso.

Moea o phallang ka laminar o bohlokoa hakae bakeng sa likamore tse hloekileng?

Moea o phallang ka tsela e sa tloaelehang o felisa merusu, o etsa bonnete ba hore lintho tse silafatsang li tlosoa ho e-na le hore li khutlisetsoe, e leng ntho ea bohlokoa bakeng sa ho boloka ho nepahala ha li-nanometer.

Mocheso le mongobo li laoloa joang lits'ebetsong tse mahlonoko?

Litsamaiso tse tsoetseng pele li sebelisa dehumidification ea mekhahlelo e'meli, ho phalla ha mahlaseli a batang le ho futhumatsa hape ho laoloang ke PID ho boloka mamello e thata haholo ea ± 0,1 °C le ± 0.3% RH.

Ho hloka mosebetsi ho phetha karolo efe ha ho etsoa HVAC ea kamore e hloekileng?

Ho hloka matla ho tiisa hore ho sebetsa ho sa khaotse nakong ea ho hloleha, ka likarolo tse kang li-chiller tsa N+1 le li-AHU tsa backup tse bolokang maemo a mahlonoko.